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MEMS 光纖加速度傳感器是一種雙正交單分向的寬頻帶加速度傳感器，是將加速度檢測質量塊、彈性支撐體、光學反射微鏡、光入射及出射波導直接集成在一個微小的芯片上，真正實現了對加速度信號的全光檢測和傳輸。MEMS 光纖加速度傳感器結構緊湊，采用氧化鋁對MEMES 加速度芯片進行封裝，靈敏度高，動態范圍大、線性度好、低頻從0Hz開始，具有平坦的頻率特性響應、相位呈線性變化，技術參數一致性好、性能穩定可靠。
MEMS光纖加速度傳感器
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